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NS系列微納樣品臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量。

CEM3000系列高易用性臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，操作系統(tǒng)簡便，樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列接觸式薄膜臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

CEM3000系列高性價比國產掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。

VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

中圖儀器chotest白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。