中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學干涉原理,能夠以優于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域,用于表面形貌紋理,微觀結構分析。測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
VT6000系列激光共聚焦顯微鏡結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,對大坡度的產品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。
VT6000中圖共聚焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎,結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統,在相同物鏡放大的條件下,所展示的圖像形態細節更清晰更微細,橫向分辨率更高。能夠清晰地展示微小物體的圖像形態細節,顯示出精細的細節圖像。它具有直觀測量的特點,能夠有效提高工作效率,更加快捷準確地完成日常任務。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學輪廓儀、光學3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等,儀器分辨率0.1μm,重復性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。
VT6000系列激光共聚焦3D圖像顯微鏡具有優異的光學分辨率,通過清晰的成像系統能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況。還可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
SuperViewW1高精度白光干涉儀對各種精密器件表面進行納米級測量,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
共聚焦顯微鏡工業測量儀具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉測厚儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
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